For Ag/MG/YB镀膜清洗流程及辅助台车说明

① IQC

对来料的mask进行外观检查，检查过程全程录像，避免双方确认结果不一致。

强光检查mask表面是否有折伤、击伤、划伤、脱焊等异常。

暗室检查mask表面是否有脏污，锈斑。

检查过程中对异常问题进行图示标注，邮件发给客户进行确认。

对mask表面进行TP、CD两个项目的检测，TP及CD 检测P各36个点位。

② 化学除膜

化学除膜：将mask平移至自动清洗线上，按程序设定的浸泡时间进行化学浸泡及DI纯水清洗（纯水阻值为：＞10MΩ）。

化学除膜-lif：使用60度热DI纯水浸泡45min，DI纯水冲洗2遍后,放入DI纯水槽内浸泡15分钟。

化学除膜-Mg/Ag：使用电子级双氧水溶液进行化学除膜，浸泡时间50min,（每15min检测槽内反应状态及槽液浓度）。

③ 纯水浸泡

使用超声波震荡的方法去除mask表面残留的药液及微颗粒，确保mask表面洁净（功率：1200w，频率：40Hz，时间15min）。

④ 防锈清洗

对除膜后的mask做IPA冲洗10min以上,确保表面无锈迹残留。

自动清洗线升降速度为5mm/S，左右移动速度为10mm/S（程序可设定为手动或自动）。

⑤ 烘干

将mask搬运至专干燥车上对表面进行检查确认，要求无水渍残留。

暗室内强光灯检查mask表面是否有水印残留，如有水印可使用纯水擦拭，后使用酒精擦干。

将mask固定后放入专用无尘干燥箱内，干燥过程禁止打开烘箱，干燥温度：60±1℃，干燥时间180min。

干燥箱开启后充入氮气，保证干燥箱内为正压5-10Mpa。