CVD行业解决方案- 解决方案- 应友光电科技集团有限公司

解决方案

Open mask行业解决方案: Open Mask操作流程; QC 流程图; Open Mask清洗工艺流程; Open Mask清洗规格说明; 清洗规格

陶瓷熔射行业解决方案: DE陶瓷部件清洗再生工艺流程; DE陶瓷部件清洗工艺; 服务履历; 部件表面处理工艺流程; 陶瓷熔射简介; 陶瓷熔射业务; 产品展示（光电）; 产品展示（半导体）; 产品展示（半导体ESC）; 陶瓷熔射技术模块; 陶瓷熔射衍生工艺（退镀技术）; 陶瓷熔射衍生工艺（氧化新工艺）; 部件表面处理工艺流程; 性能测试氧化新工艺性能指标; 陶瓷熔射衍生工艺（清洗再生工艺）; 部件表面处理工艺流程; 洗净再生技术能力; 特别产品（上电级的处理）; 服务履历

洗净行业解决方案: PVD部件清洗再生工艺流程; 服务履历; CF部件清洗再生工艺流程; IMP清洗工艺流程; 服务履历; 内衬板部件清洗再生工艺流程; 服务履历; 品控能力; 洗净再生技术能力; 高阶制程精密洗净优势; 光伏清洗再生工艺流程-载板

CVD行业解决方案: CVD部件清洗再生工艺流程-Diffuser; CVD部件清洗再生工艺流程-Backing Plate; CVD部件清洗再生工艺流程1-Susceptor; CVD部件清洗再生工艺流程2-Susceptor; CVD部件清洗再生工艺流程-Shadow Frame; 核心技术; 服务履历

CVD部件清洗再生工艺流程-Diffuser

CVD部件清洗再生工艺流程-Backing Plate

CVD部件清洗再生工艺流程1-Susceptor

CVD部件清洗再生工艺流程2-Susceptor

CVD部件清洗再生工艺流程-Shadow Frame

核心技术

TQ工艺

高温工艺下稳定的 Anodizing 处理技术 → CVD Parts film 上强化的耐久性 (Particle, Arcing)

适用产品 : Susceptor, Diffuser, Shadow Frame 等

CLEANINGHole

清洗技术

- Hole 内部清洗及抑制扩孔。

TQ工艺

TQ coating = 更好的耐腐蚀性

为提高耐刻蚀性的Anodizing技术 → 强化氧化膜的的耐腐蚀性

适用产品 : DIFF SUS S/F等

耐腐蚀测试

Porous参照标准LAM实验方法，对产品进行耐HCl的Bubble Test，判定标准为大于120min

热处理及DOME形成技术

拥有大型热处理炉

掌握传统热整形技术，在整形前进行阳极，更好的保护了产品的表面。

开发新的整形技术，在喷砂前进行碗状整形，在喷砂后会因为玻璃珠的溅射，使SUS变成我们想要的伞状。大大提高交期

焊接(WELDING)技术

Susceptor Welding 技术 : FSW

- 无材料的熔解过程，材料特性无变化。

研磨(Polishing)

拥有有效去除表面Dint, Arcing, Burr的经验积累。 (确保了维修产品的竞争力)

镜面研磨(Backing Plate 用) 技术

- 为清除Backing Plate表面腐蚀和清洗的镜面处理技术。 (GU>600)

服务履历