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CVD部件清洗再生工艺流程-Shadow Frame
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服务履历
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加工部件清洗工艺流程
加工部件清洗工艺
服务履历
PVD部件清洗再生工艺流程

 

 

IQC

外观缺陷检查并反馈客户,区分装置、膜质、材质、编制工艺流程表单。

 

分解

组立件清洗时对其后,个体进行有效清洗。

 

酸洗+超高压水刀

先浸泡硝酸,把部件上的膜层浸泡松动;然后采用物理方法,超高压水刀冲洗部件,打掉膜层。(ITO膜与AL膜只做水刀处理)。

 

纯水浸泡

超高压水洗后在纯水里把部品表面残渣浸泡去除。

 

预干燥

纯水浸泡后进行预干燥,去除表面水汽,以利于下工序作业。

 

保护

部品不用喷砂部位用胶带或治具进行保护。

 

喷砂

在一定的工艺压力下,对部品进行喷砂,以达到沉膜所需要的粗糙度标准。

 

去保护、毛刺、检查矫正

喷砂完成后对其保护治具和胶带去除,去除喷砂边缘处毛刺并对变形及尺寸不合格的进行矫正。

 

检测

部品放于大理石平台用塞尺测量翘曲度,不在标准范围内进行矫正,确保平面度的合格,测量数据记录在检查表上。

按照检查表内规定需检测的项目,用量具对部品进行测量,其结果在检查表上记录。

 

高压水洗

 

干燥

在一定的工艺压力下对喷砂部品进行粗清洗,去除表面颗粒。

 

ARC熔射 

数据检测

高压水洗 

按照工艺流程单规定的工艺参数进行ARC熔射机的参数设定并进行熔射作业,作业完成后对熔射涂层粗糙程度进行评估测量,测量数据是否能达到标准要求,流入下工序进行高压水洗,清除表面粉尘。 

 

无尘室干燥

按工艺要求进行干燥。

 

最终检查

进行外观检查,目视有无外观不良,并依据检查表进行相关尺寸数据检查。

 

组立

FQC检验 

真空包装

依标准图纸进行部品组立,组立时注意组件的方向性。组立完成后,由FQC进行外观及尺寸数据方面的检查确认。

内白外绿真空包装(两层)

  

OQC、装箱出货

根据工艺流程单客户类别、装置、膜质等归类用缓冲材气垫膜捆包后装箱。

OQC作成检验报告、清单,装箱完成后发货。

服务履历

部门

产品

客户

世代

类别

设备厂商

PVD 

MASK 

合肥京东方(B3)

G6

LCD

ULVAC

重庆京东方(B8)

G8.5

LCD

ULVAC

合肥京东方(B9)

G10.5

LCD

ULVAC

滁州惠科

G8.6

LCD

AKT

重庆惠科

G8.6

LCD

AKT

上海天马

G4.5

LCD

ULVAC

武汉天马

G4.5

LCD

ULVAC

武汉天马

G6

OLED

IRUJA

成都天马

G4.5

LCD

ULVAC

厦门天马

G5.5

LTPS

ULVAC

厦门天马

G6

LTPS

ULVAC

中航

G5

LCD

ULVAC

龙腾

G5

LCD

ULVAC

南京熊猫

G6

LCD

ULVAC

南京熊猫

G6

LCD

AKT

华星光T3

G6

LTPS

ULVAC

华星光T4

G6

OLED

IRUJA

国显光电

G5.5

OLED

ULVAC

部门

产品

客户

世代

类别

设备厂商

PVD 

MASK 

合肥京东方(B3)

G6

LCD

ULVAC

重庆京东方(B8)

G8.5

LCD

ULVAC

合肥京东方(B9)

G10.5

LCD

ULVAC

滁州惠科

G8.6

LCD

AKT

重庆惠科

G8.6

LCD

AKT

上海天马

G4.5

LCD

ULVAC

武汉天马

G4.5

LCD

ULVAC

武汉天马

G6

OLED

IRUJA

成都天马

G4.5

LCD

ULVAC

厦门天马

G5.5

LTPS

ULVAC

厦门天马

G6

LTPS

ULVAC

中航

G5

LCD

ULVAC

龙腾

G5

LCD

ULVAC

南京熊猫

G6

LCD

ULVAC

南京熊猫

G6

LCD

AKT

华星光T3

G6

LTPS

ULVAC

华星光T4

G6

OLED

IRUJA

国显光电

G5.5

OLED

ULVAC

CF部件清洗再生工艺流程

 

分解

对部件进行拆解,并分类,然后再分别清洗

 

IQC检查

外观缺陷检查并反馈客户,区分膜层,材质,制作工艺流程单

 

化学除膜/水刀除膜

先浸泡硝酸,把部件上的膜层浸泡松动;然后采用物理方法,超高压水刀冲洗部件,打掉膜层。(铝板直接水刀除膜,不进行化学浸泡)

 

纯水浸泡

超高压水洗后在纯水里把部品表面残渣浸泡去除。

 

保护

不需要喷砂的部位用胶带或治具进行保护

 

喷砂

在一定的压力下(5-8kg/cm²),对部品进行喷砂,并且达到粗糙度标准,Ra=5-14um

 

去保护、毛刺/打磨

喷砂完成后,去除保护胶带和治具,并对光滑面进行打磨。

 

高压水洗

喷砂完成后,对部品进行高压水洗,压力50bar,除掉残留的砂尘及微粒

 

无尘室干燥

对部品进行最终干燥,干燥要求:150°*2H

 

检查

进行外观检查,目视有无缺陷、不良并进行相关数据检查,平面度控制在1mm以下

 

组装

按照要求将Clamp、peek、上下导轨等进行组装,注意组装的方向

 

真空包装

将部品进行真空包装,两层真空袋,其颜色和层数我们可根据客户要求进行包装

 

装箱出货

OQC完成检查报告,清单,装箱完成后发货

 

IMP清洗工艺流程

 

受入分解

对部件进行分解,并对外观、数量及材料进行区分并使用专用工艺流程进行清洗

 

 液洗

配比新的硝酸药液对不锈钢防着板部件进行浸泡0.5-1h

MO 材质部件在稀释的氢氟酸槽浸泡3-15S

高压水洗,冲洗掉部件上的酸液

 

预干燥

将部件进行预干燥,准备流入喷砂工段(注意:部件表面无水分即可)

 

喷砂

对部件表面进行喷砂处理,提高部件的表面粗糙度(注意:喷砂前需对气压做确认)

 

中间检查

对铝制部件进行表面打磨处理

 

中间检查

在大理石平台上对部件进行平面度进行确认,如有变形需做矫正

使用专业仪器抽查部件表面粗糙度,并将合格的部件流入下一工段。

 

水洗

使用超声波设备去除表面微颗粒

使用气枪将部件表面吹干(注意:每个螺孔内都不能有水渍残留)

 

加热干燥

将部件放入烤箱内做最终干燥。(注意:烤开启前箱需确认温度及时间的设定)

 

组装

将各组立件按照来货时的状态进行组装(注意:螺丝紧固前需对各组立件的方向进行确认)

 

品质检查

对部件的外观、平面度、组装效果、表面粗糙度等进行检查确认

 

 真空包装

对检验合格的部件做真空包装处理,确保部件不会空气接触

 

装箱出货

将部件放入专用的周转箱内运输,确保部件的运输安全

服务履历

部门

产品

客户

世代

类别

IMP

电极板

和辉光电

G4.5

OLED 

华星光电(T4)

G6

OLED 

华星光电(T3)

G6

LTPS

厦门天马

G6

LTPS

武汉天马

G6

OLED 

内衬板部件清洗再生工艺流程

① IQC

② 分解

外观缺陷检查并反馈客户,区分装置、膜质、材质、编制工艺流程表单,组立件清洗时对其分解后,个体进行有效清洗。

 

③ 药水浸泡+高压水冲洗

通过浸泡药水,把部件上的膜层去除;然后采用物理方法,高压水冲洗部件,打掉残余膜层。

 

④ 纯水浸泡

高压水洗后在纯水里把部品表面残渣浸泡掉。

 

⑤ 预干燥

纯水浸泡后进行预干燥,去除表面水汽,以利于下工序作业。

 

⑥ 保护

部品不用喷砂部位用胶带或治具进行保护。

 

⑦ 喷砂

在一定的工艺压力下,对部品进行喷砂,以达到沉膜所需要的粗糙度标准。

 

⑧ 去保护/毛刺

喷砂完成后对其保护治具和胶带去除,去除喷砂边缘处毛刺并对变形及尺寸不合格的进行矫正。

 

⑨ ARC熔射

按照工艺流程单规定的工艺参数进行ARC熔射机的参数设定并进行熔射作业

 

⑩ 数据检测

按照检查表内规定需检测的项目,用量具对部品进行测量,其结果在检查表上记录;

 

⑪ 高压水洗

在一定的工艺压力下,对喷砂部品进行粗清洗,去除表面颗粒。

 

⑫ 纯水超声波清洗

使用超声波去除部品表面微颗粒

 

⑬ UV灯检查

使用UV灯检查部品表面是否有有机残留

 

⑭ 无尘室干燥

按工艺要求进行干燥,确保部件表面无水分残留

 

⑮ 最终检查     

进行外观检查,目视有无外观不良,并依据检查表进行相关尺寸数据检查。

 

⑯ FQC检验

对进行外观、平面度、粗糙度等项目进行检查确认;

 

⑰ 真空包装

两层无尘真空包装

 

⑱ 物流出货

根据工艺流程单客户类别、装置、膜质等归类用缓冲材气垫膜捆包后装箱。OQC作成检验报告、清单,装箱完成后发货。

服务履历

部门

产品

客户

世代

机台

蒸镀

内衬清洗

和辉光电

G4.5

TOKKI

华星光电

G6(实验线)

TOKKI

国显光电

G5.5

TOKKI

武汉天马G6

G6

ULVAC/TOKKI

绵阳京东方B11

G6

TOKKI

open mask

武汉天马G6

G6

ULVAC

成都京东方B7

G6

TOKKI

绵阳京东方B11

G6

TOKKI

品控能力

① 来料检查,录入系统:

根据部品主材材质(AL母材、SUS材质)、以及膜的种类,选择洗净制程工艺,同事根据部品刻印号,统计组核对部品清洗次,公司设计社内使用list表单,能够高效快速区分部品。

 

② 作业管控系统:

A.除膜标准:部品通过物理方式或化学方式处理,将部品表面残膜清理干净,药剂使用次数,频率进行管控。

B.遮蔽标准:使用胶带或治具对部品非处理面进行保护,无缝隙,对图纸进行管控。

C.喷砂部品标准:外观色泽均匀、无色差、无残膜、粗糙度满足要求,对粗糙度SPEC进行管控。

D.熔射部品标准:无色差、无划伤、无印记、无黑点等;粗糙度满足要求,对粗糙度SPEC进行管控。

 

③ 中检后标准控制:

A.整形标准:部品通过物理方式校正部件,达到尺寸SPEC。

B.粗糙度满足要求,对粗糙度SPEC进行管控。

 

④净空房作业后标准控制:

检测部件表面Particle(ea/cm2)数量符合产品出货检测SPEC。

 

⑤ 包装出货检查标准控制

对部品数量、贴纸及真空包装情况进行检查确认,发货前对部品进行整体最终确认。

 

⑥ 数据统计系统

记录清洗部件数据,更新部件清洗履历,建立部件清洗大数据,为客户提供更合理、可靠的SPEC参考。

洗净再生技术能力

A .独特的清洗剂配方,最大限度控制部件腐蚀问题,提高客户使用次数。

该多孔铝合金零件经过5次清洗,微孔几乎没有腐蚀变大,且每次清洗微腐蚀数据稳定,说明该技术能稳定可控的对部件进行清洗再生。

 

B . 严控的洗净及净空房环境能力,保证部件表面particle水平达到客户上机要求。

精密洗净后的试片,经过超声波,无尘室干燥后测试particle水平

完全满足目前所有精密洗净零件对particle水平的要求

 

C . 洗净后的部件表面,严格控制金属离子残留水平,防止部件受到金属离子污染。

1E10Atoms/cm2 Li Na Mg Al K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Ge Y Zr Mo W Pb
SPEC 60.00 200.00 50.00 600.00 200.00 95.00 60.00 30.00 50.00 30.00 70.00 30.00 50.00 50.00 50.00 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
测试片 0.01 2.52 0.50 30.93 0.69 2.93 6.44 0.01 0.08 0.04 8.75 0.05 0.09 0.80 3.79 * * * 0.08 0.02 *

精密洗净后的试片,干燥后测试表面 金属离子残留水平

完全满足目前所有精密洗净零件对金属离子残留水平的要求

 

高阶制程精密洗净优势

品质管控:

无尘室的净空度、温湿度实现在线监控;

纯水实现在线监控;

实施关键parts SPC 控制;

全面引入治具,实现遮蔽、量测的治具化,降低人为影响;

引入更多自动化作业设备。

光伏清洗再生工艺流程-载板

1.IQC检查

检查载板外观不良及零部件缺少,做出受入不良联络书

记录载板各部件刻号在图纸对应位置,以便无尘室进行组装

 

2.分解

按分解作业指导书要求对载板进行分解后打印list工程表完成受入工作

 

3.化学除膜

药水:HNO3:H2O=1:1,条件:45±5℃×(3~4H),去除部件表面膜层;药水浸泡时注意每件产品需要隔开,防止叠加位置药水浸泡不到导致膜层残留。

 

4.纯水浸泡

纯水溢流浸泡10min,去除表面药水残留。

 

5.高压水洗

高压水枪冲洗表面残留膜质,水枪切记调至合适压力防止产品冲洗变形(定位孔务必冲洗干净)

 

6.干燥

干燥:气枪吹扫pocket表面水份后90°*30min进行干燥

 

7.保护

横梁竖梁螺孔位置上螺丝保护,光滑面胶带保护,组立搭接位置均需保护;pocket使用治具进行保护pocket光滑面及圆形定位孔严格保护。(定位孔及销钉孔需用螺丝加垫片保护)

 

8.喷砂

保护好的产品放置在喷砂台进行喷砂作业;pocket喷砂注意条件:WA80#×(3~4 kg/cm2)Ra=Ra2.0 - Ra3.2μm

 

9.去保护/毛刺

去除喷砂的保护,对光滑面进行打磨(要求无残膜,砂子),并去除刀口位置毛刺

 

10.整形

矫正:将部品放置大理石平台进行矫正:左右竖梁平面度<1mm,横梁平面度<0.5mm,pocket平面度<0.15mm

 

11.高压水洗/超声波清洗

正反面均需冲洗,高压水枪压力50par(冲洗时pocket需水平放置)。超声波清洗1200W × 10min。

 

12.预干燥

对清洗完毕的部件进行预干燥90°× 30min

 

13.最终干燥

无尘室内对部件进行最终干燥150°× 2h,干燥结束后自然冷却至室温对部件进行组装前平面度确认,确保外观及平面度合格。

 

14.组装

按照受入记录的图纸,找到刻号为一组的部件,将每个部件对应图纸装上(组装顺序:先把横梁竖梁组立好(对角线<2cm),再把pocket位置调好,装上销钉,pocket需垫上等高垫块,装上所有螺丝调整好pocket四周间隙后锁紧侧边螺丝,最后锁紧pocket螺丝。)

 

15.最终检验

依据检查标准对部品进行检查并对相关数据进行量测;并依据量测数据进行出货报告制作。

 

16.真空包装

包装要求:双层包装,一层真空,一层防静电。

 

17.装箱发货

OQC完成检查报告,清单,确认无遗漏,装箱完成进行箱体无尘卷膜缠绕,打印标签后发货。